Em 1º de outubro de 1777 foi concluído entre as Coroas de Portugal e de Espanha um convênio que tomou o nome de Tratado Preliminar de Restituições Recíprocas, cuja finalidade era a demarcação dos limites entre os domínios de Espanha e o Sul do Brasil, restituindo, amigavelmente, uma nação a outra, colocando fim em tudo aquilo que a força das armas, indevidamente, houvesse sido arrebatado em guerras passadas.
Foi em entre março e abril de 1787 a comissão fixa (Espanhola e Portuguesa) encarregada de marcar a linha divisória entre os domínios de Espanha e Portugal no Sul da América chegou na região onde hoje está Santa Maria e ali fez seu acampamento.
A comissão permaneceu por muito tempo a fim de concluir os trabalhos de gabinete relativos à demarcação procedida, imediatamente ordens foram dadas para a derrubada da floresta no cimo do outeiro, levantando-se em seguida o quartel para a tropa, o escritório para a comissão técnica, os ranchos para os oficiais, e a indispensável capela em obediência a vontade soberana decorrente do espírito religioso da época.
A expedição permaneceu em Santa Maria até fim de setembro de 1801 elaborando mapas e mais documentos que deveriam ser apresentados ao governo português por intermédio do Vice-rei do Brasil.
No começo de outubro de 1801 a caravana partiu com destino a Porto Alegre e desse dia em diante Santa Maria deixou de ser um acampamento para ser um povoado propriamente dito.

Distrito criado com a denominação de Santa Maria da Boca do Monte, pela Lei Provincial n.º 6, de 17-11-1837.
Elevado à categoria de vila com a denominação de Santa Maria da Boca do Monte, pela Lei Provincial n.º 400, de 16-12-1857. Instalada em 17-05-1858.
Elevado à condição de cidade e sede do município com a denominação de Santa Maria da Boca do Monte, pela Lei Provincial n.º 1.013, de 06-04-1876.
Pela Lei Provincial n.º 1.392, de 01-06-1882, é criado o distrito de São Pedro e anexado ao município de Santa Maria da Boca do Monte.
Pela Lei Provincial n.º 1.455, de 26-04-1884, é criado o distrito de Silveira Martins e anexado ao município de Santa Maria da Boca do Monte.
Por Atos Municipais n.ºs 46, de 04-03-1896, e 18, de 29-04-1914, é criado o distrito de Arroio do Só e anexado ao município de Santa Maria da Boca do Monte.
Em 06-10-1901, Santa Maria da Boca do Monte adquiriu o território do extinto município de São Martinho como simples distrito.
Em divisão administrativa referente ao ano de 1911, o município é constituído de 5 distritos: Santa Maria da Boca do Monte, Arroio do Só, São Martinho, São Pedro, Silveira Martins.
Por Atos Municipais n.ºs 14, de 31-12-1913, e 18, de 29-04-1914, foram criados os distritos de Caturrita e Estação Colônia e anexados ao município de Santa Maria da Boca do Monte.
Nos quadros de apuração do recenseamento geral de 1-IX-1920, o município aparece constituído de 9 distritos: Santa Maria da Boca do Monte, Arroio do Só, Boca do Monte, Caturrita, Estação Colônia, Pains, São Martinho, São Pedro, Silveira Martins.
Por Ato Municipal n.º 66, de 21-02-1923, é criado o distrito de Dilermano Aguiar é anexado ao município de Santa Maria da Boca do Monte.
Pelo Decreto Estadual n.º 3.624, de 22-03-1926, desmembra do município de Santa Maria da Boca do Monte o distrito São Pedro. Elevado à categoria de município.
Em divisão administrativa referente ao ano de 1933, o município de Santa Maria da Boca do Monte aparece constituído de 8 distritos: Santa Maria, Arroio do Só, Boca do Monte, Dilermano de Aguiar, Estação Colônia, Pains, São Martinho e Silveira Martins. Não figurando o distrito de Caturrita.
Em divisões territoriais datadas 31-XII-1936 e 31-XII-1937, o município se denomina Santa Maria e aparece constituído de 7 distritos: Santa Maria (ex-Santa Maria da Boca do Monte), Arroio do Só, Boca do Monte, Dilermano de Aguiar, Estação Colônia, São Martinho, Silveira Martins. Não figurando o distrito de Pains.
Pelo Decreto-lei Estadual n.º 7.842, de 30-06-1939, o distrito de Estação Colônia tomou o nome simplesmente Colônia.
No quadro fixado para vigorar no período de 1939-1943, o município é constituído de 7 distritos: Santa Maria (ex-Maria da Boca do Monte), Arroio do Só, Boca do Monte, Colônia (ex-Estação Colônia), Dilermano de Aguiar, São Martinho, Silveira Martins.
Pelo Decreto-lei Estadual n.º 720, de 29-12-1944, o distrito de Colônia tomou a denominação de Camobi.
Em divisão territorial datada de 1-VII-1950, o município é constituído de 7 distritos: Santa Maria, Arroio do Só, Boca do Monte, Camobi (ex-Colônia), Dilermano de Aguiar, São Martinho, Silveira Martins.
Pela Lei Municipal n.º 180, de 24-06-1952, é criado o distrito de Itaara, com território desmembrado do distrito de Camobi e anexado ao município de Santa Maria.
Em divisão territorial datada de 1-VII-1955, o município é constituído de 8 distritos: Santa Maria, Arroio do Só, Boca do Monte, Camobi, Dilermano de Aguiar, Itaara, São Martinho, Silveira Martins.
Assim permanecendo em divisão territorial datada de 1-VII-1960.
Pela Lei n.º 1.037, de 1962, o distrito de Colônia Vacaci tomou a denominação de Santa Flora.
Em divisão territorial datada de 31-XII-1963, o município é constituído de 9 distritos: Santa Maria, Arroio do Só, Boca do Monte, Camobi, Dilermano de Aguiar, Itaara, Santa Flora (ex-Colônia Vacaci), São Martinho, Silveira Martins.
Assim permanecendo em divisão territorial datada de 1-I-1979.
Pela Lei Estadual n.º 8.481, de 11-12-1987, desmembra do município de Santa Maria o distrito de Silveira Martins. Elevado à categoria de município.
Pela Lei Municipal 3.099, de 19-12-1988, é criado o distrito de Arroio Grande e anexado ao município de Santa Maria.
Em divisão territorial datada de 1988, o município é constituído de 9 distritos: Santa Maria, Arroio do Só, Arroio Grande, Boca do Monte, Camobi, Dilermano de Aguiar, Itaara, Santa Flora e São Martinho.
Pela Lei Municipal n.º 3.770, de 19-04-1991, é criado o distrito de Passo do Verde e anexado ao município de Santa Maria.
Pela Lei Municipal n.º 3.369, de 02-09-1991, é criado o distrito de Pains e anexado ao município de Santa Maria.
Pela Lei Estadual n.º 9.593, de 20-03-1992, desmembra do município de Santa Maria o distrito de São Martinho. Elevado à categoria de município com a denominação de São Martinho da Serra.
Pela Lei Municipal n.º 3.639, de 13-04-1993 o distrito de Arroio do Só passou a denominar-se Arroio do Sol.
Em divisão territorial datada de 1993, o município é constituído de 10 distritos: Santa Maria, Arroio do Sol (ex-Arroio do Só), Arroio Grande, Boca do Monte, Camobi, Dilermano de Aguiar, Itaara, Pains, Passo Verde e Santa Flora.
Pela Lei Estadual n.º 10.633, de 28-12-1995, desmembra do município de Santa Maria o distrito de Dilermano de Aguiar. Elevado à categoria de município.
Pela Lei Estadual n.º 10.643, de 28-12-1995, desmembra do município de Santa Maria o distrito de Itaara. Elevado à categoria de município.
Pela Lei Municipal n.º 4.120, de 19-12-1997, foram criados os distritos de Palma e São Valentim e anexado ao município de Santa Maria.
Em divisão territorial datada de 1999, o município é constituído de 9 distritos: Santa Maria, Arroio do Sol, Arroio Grande, Boca do Monte, Pains, Palma, Passo do Verde, Santa Flora e São Valentim.
Pela Lei Municipal 4.498, de 28-12-2001, é criado o distrito de Santo Antão e anexado ao município de Santa Maria.
Em divisão territorial datada de 2005, o município é constituído de 10 distritos: Santa Maria, Arroio do Sol, Arroio Grande, Boca do Monte, Pains, Palma, Passo do Verde, Santa Flora, Santo Antão e São Valentim.
Assim permanecendo em divisão territorial datada de 2007.